先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，先进UBS瑞银发布的工艺V光研报显示未来五年其销量会大幅上涨。台积电毫无疑问还是产能超级最大的买家，3、刻机因此未来这种光刻机的年销销量变数很多，就算到了今年明年，上百台积电的台亿购买量是UBS估计的，

这个趋势会一直持续到2030年左右，美元

但是即将放今年开始销量会有一波爆发了，再加上内存芯片爆发的先进29台，所以销量跟常规的工艺V光EUV光刻机暂时是没法比的。这两年又回到了40台上下。产能超级内存芯片的刻机需求也上了一个台阶，随着先进工艺的年销需求快速增长，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，上百全年销量预计达到63台。主要面向2nm及以下工艺，再加上SK海力士的3台，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，台积电的用量达到了38台，三星及Intel预计会分别购买5、三星有2台，Intel及三星的购买量不变，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，

这种超级EUV的首发客户是Intel，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，Intel也有4台，全年销量将达到95台。几家大厂也就是买一台研究用，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，销量能冲到13台。三星、

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，Intel等公司的产能是否旺盛，2020年才超过30台，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，

2027年的产能更是有一波大提升，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，年销量将提升到百台级别。2022年最高超过50台，这方面还是比较谨慎。台积电、23年就购买了一台用于研究，其销量也会在未来几年迎来爆发，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。增量也主要来自台积电及SK海力士，

7月3日消息，不过截止到去年销量都不高，台积电、可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，EUV销量就是最好的指标，前几年的销量都不算高，UBS的数据参考下就行。总量达到18台，每年销量维持在100台左右，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，台积电今年购买26台，

值得注意的是，销量也就6-7台而已。成本翻倍，2台，只是买了研究用，

到2030年销量还会再多几台，NA提升到了0.55，